光源组的进度明显要比透镜组的进度要慢得多。

    因为透镜组完成的只是按照图纸完成组装而已，核心的光掩膜延用上一代，一天就能拿下。

    但是负责光源的小组就会面临很多前所未有的难题。

    比如液态金属锡低落的时间，激光发射的时间，命中率等等。

    图纸可以把硬件做出来，但是这些精准的数据，需要将各种公式和逻辑放入系统之中，让系统来操控。

    所以，给光源的部分设计一个系统才是重点。

    如果滴落的液态金属锡过大，那么激光的强度就会衰弱。

    就好比扬起一把沙子之后在用光照射，那么沙子的浓度越高，光就越难以穿透。

    如此一来，控制一滴金属锡的大小浓度需要经过计算。

    取到一个最恰当的值，录入系统，让机器来操作。

    同样的还有命中率。

    极紫外光和合成最关键的就是用深紫外光轰击液态金属锡，而且是两次！

    当液态金属锡变成雾状的离子态，必须在极短时间之内，完成第二次深紫外光的命中。

    穿过离子态金属锡的光，才能是极紫外光。

    如果命中率低，第一次没命中，或者第二次没有命中，都会错过最佳时间，导致极紫外光无法产生。

    这样下来，命中率必须达到100%！

    设计这些东西极其耗费时间。

    一周的高强度工作状态下，才算是搞定了这个巨大核心。

    而另一边的移动工件台是有一个不弱于光源组的难点。

    有何毅伟坐镇，当陆晨加入工作的时候，移动工件台的一些难点已经克服。

    三大核心用了半个多月才终于完成。

    ...............

    光刻机的内部硬件已经组装完毕。

    又过了几天，光刻机已经成型。

    他们开始了第一次芯片制造的测试。

    何毅伟和一众教授都来到了实验室的总控台。

    陆晨为了观察光刻机的一些运作情况，穿上了防尘服，进入净室。

    看到陆晨进来，几个工作人员纷纷打招呼。

    陆晨点点头，来到了光刻机的旁边。

    这台光刻机经过他的设计之后，体积远远没有国外的庞大。

    国外的光刻机得有一个集装箱的大小，但是陆晨设计的这一款，只有一半的体积。

    在经过他的检测之后，光刻机的状态全部确认完毕。

    给总控台比了个手势，净室里的扬声器传来了声音。

    “第1次光刻实验，启动！”

    总控台一声令下，涂胶后的晶圆被机械臂吸起，放到了光刻机的履带上。

    随着履带的转动，晶圆进入了机器。

    “光源放光！”

    指令还没说完，光刻机的屏幕突然一黑。

    “怎么回事？”

    主控台传来疑问。

    “报告，液态金属锡未被击中，滴落面板导致短路！”

    实验显然以失败告终！

    陆晨眉头皱了起来。

    没有命中，这说明光源的部分还是出了问题。

    需要再次调校才能开始第二次试验。

    大家并没有气馁。

    因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的！

    停机修整之后。

    很快，第二次实验开始。

    “报告，双移动工件台同步对准出现异常，导致光刻胶涂层大面积曝光！”

    第三次。

    “报告，芯片良率太差！”

    第四次……

    第五次……

    经过很多次失败之后，科研小队渐渐开始着急了起来。

    所有人都在反复确认各项数据和资料，因为这样每拖一天，都是极大的损耗！

    凌晨三点。

    大部分的工作人员全部下班回到了宿舍休息。

    而在办公楼上，还有一个房间在亮着灯。

    会议室内，各个小组的负责人开始向陆晨汇报检查结果。

    每次试验失败，都要各个小组回到办公室重新做一遍排查。

    每一个细节，每一个关键点！

    都要像重新制作一样，重新开始。

    科研是枯燥的。

    很多科研项目一拖就是好几年，很大部分时间，就是在重复的排查上被浪费！

    不过陆晨心里并没有太多压力，这几天他逐个排查各个小组工作。

    从透镜组到光源组，然后是移动工件台，还有各种系统源文件。

    一项项都没有问题，只有最后的系统文件没有查看。

    他坚信，今天一定能找到问题所在！

    此时各部门开始了汇报。

    “光源组一切正常，所有数据代码设定全部确定完成。”

    “透镜组一切正常，在暗室反复试验之后，都没有任何问题。”

    “移动工件台一切正常，同步对准功能无延迟。”

    “eda软件运行正常！”

    “系统无漏洞……”

    “……”

    听完这些汇报，陆晨点了点头道：“大家明天再做一遍检查工作，一定是还有地方存在问题。”

    不少人小声的议论着，离开了会议室。

    在各个负责人离开会议室之后，陆晨打开了系统的源文件代码。

    这都是编程语言，各种复杂的代码罗列在眼前。

    一旁的何毅伟叹了口气：“小陆，你也回去吧，睡饱了，明天打起精神来！”

    陆晨微微颔首：“老师，我把这最后的地方排查完就回去，您先去休息吧。”

    何毅伟见状也只好点头。

    他知道，陆晨一旦工作起来常常忘记时间！

    通宵工作也是常态。

    这次明明说好要他按时下班，但是因为项目，何毅伟没有办法。

    他最担心的还是陆晨的身体，年轻人就算是再有精力，也不可能抗住这种高强度的工作。

    他也想留下来和陆晨一起，但是奈何他年过花甲，实在是不能和年轻人比。

    正当他准备收拾资料准备离开的时候，陆晨突然开口：“老师，找到问题了！”

    “什么？”

    还没离开的何毅伟猛然回头，立刻来到了陆晨身边。

    “这里有BUG，不过问题不大，我可以立刻开始修整。”

    陆晨指着电脑屏幕上复杂的代码，立马开始了重新编译。

    何毅伟心里微微一惊，这可是编程啊！

    按理来说，应该交给相关部门才能排除才对，即便是他自己也做不来！

    他还是第一次发现陆晨居然有这个技能，忍不住有了一个疑问：这小子到底还会多少东西！？