会议室内在一次安静了下来。
良久。
才有人小声议论。
“我读书少，啥是无掩模光刻机？”
“不清楚。”
“别看我，我哪知道。”
“这个苏副总设计师总是能给我们整出点新花样来。”
“实不相瞒，各位，我刚才没有感觉到多惊讶，因为已经习惯了。”
“那你的腿刚才抖什么？”
张老和林老也是相互对视了一眼。
眼中有着震撼之色闪现。
底下的人不清楚什么是无掩模光刻机。
他们可是知道的。
但这只是一种猜想，一种建议。
连最基本的理论支撑都没有。
苏晨竟然说要把它做出来！
台上的苏晨继续开口说道：
“各位，请安静一下。”
“众所周知，现在的光刻机已经发展到5纳米了。”
“按照摩尔定律，两年一代的速度更新下去。”
“用不了几年光刻机就会发展到1纳米。”
“1纳米之后呢？”
“之后怎么办？”
“所以干脆我们就绕开西方的技术专利，直接做出他们没有的！”
“到时候，我们可以直接向他们索要专利费！”
“额，苏副总设计师，我有个问题，你能给解答一下吗？”
“说。”
“这个你刚才说的无掩模光刻机，我们连听都没听过。”
“您能给大致的解释一下吗？”
“比如用什么做光刻？”
底下有人问道。
“问得好。”
“大家都知道现在的光刻机用的是紫外线光源做的光刻。”
“它分为紫外线，深紫外线，激动紫外线。”
“5纳米光刻机用的是极紫外光刻，也就是euv。”
“极紫外的光波长13.5纳米，它可以雕刻出5纳米的芯片。”
“这些紫外线统统被称为软x射线。”
“而无掩模光刻机我们采用的是用x射线来做光源！”
苏晨说道。
“x射线跟紫外线相比有什么优势吗？”
底下的人继续问道。
“优势很大。”
“x射线的波长从0.001纳米到10纳米，而更小的波长也意外这更锋利，也意味着可以减少光波的衍射，利于形成微小清晰的影像。”
“而且由于x射线准直性非常好，是1:1复制的，掩膜版使用的是硅梁支撑的低应力氮化硅薄膜，上面有一层图形化的进，作为掩蔽层。”
“曝光方式采用浸入的方式，可以极大的提升效率。”
苏晨说完。
底下的人又开始窃窃私语。
“苏副总设计师说的好棒啊，虽然我一个字都没听懂。”
“我也是听得很迷糊，但是我在国外留学的时候，我们系一个老教授倒是提过一句用x射线来做光刻机的光刻。”
“然后呢？”
“然后？没然后了啊。对了，再说一句，这个老教授的脑子好像有点不正常。”
“奥，我明白了，你的意思是只有疯子才这么想？”
“我也明白了，你是在拐着弯骂苏副总设计师呢。”
“我不是，我没有，别瞎说！”
“咳咳，大家别吵了。”
张老听见底下的争论有点变味，他顿时说道。
众人都安静了下来。
张老的眼神看向苏晨。
问道：“小苏啊，我多说一句，现在蓝星上所有的材料对于x射线都是折射率为1且吸收率很大的材料。”
“这个材料问题你怎么解决？”
苏晨微微一笑。
“这个问题我早就想过了。”
“很简单，采用多层膜的设计，可以让波段的反射率接近70%。”
张老楞了一下。
他就是随口一问。
没想到苏晨竟然这么快的就回答上来了。
张老苦笑了一下。
他不知道苏晨说的对不对。
因为自己根本就没验证过。
国际上也没有做过这种实验。
他把目光看向林老。
“老林，你怎么看？”
林老沉默。
众人的目光也都看向了他。
苏晨也看向了他。
只要林老点头。
苏晨的提议就会通过。
全力研制无掩模光刻机！
良久，他的眼睛之中出现了疯狂之色。
“我批准了！”
“就按苏晨的计划做！”
“14纳米光刻机不做了！”
“如果出了什么事情，我一个人承担后果！”
听完这话。
苏晨感觉很感动。
他知道他这种想法很疯狂。
没想到林老还是支持他研制这种新型的光刻机。
“放心吧，林老，张老，我是不会让你们失望的！”
“无掩模光刻机，我一定会做出来的！”
苏晨严肃的说道。
“呵呵，我老头子相信你。”
“你来安排下一步吧。”
林老笑着说道。
苏晨看了看时间。
开口说道：“已经到中午了，大家先休息一会儿吧。”
“咱们一点半再来这里集-合。”
众人都纷纷散去了。
林老和张老把苏晨叫住，
“小苏啊，你过来一下。”
“我们有几个问题问问你。”
苏晨停下了脚步，转身走去。
“林老，您说？”
“呵呵，小苏啊，你刚才说的用x射线做光刻，好处那么多。”
“那你给我们讲一下它的坏处，技术壁垒，以及你怎么解决？”
林老说道。
用x射线做光刻肯定会有很多技术壁垒。
而且非常难以攻克。
要不然国内外早就放弃紫外光线了。
“这个，林老，其实用x射线的壁垒我都已经攻克了。”
“在我研制过程中，x射线就有一个致命的缺陷，那就是它的能量远远高于紫外线。”
“那这个问题你是怎么解决的？”
“我采用的是较低能量的射电子x射线。”
苏晨回答道。
林老和张老陷入了沉思。
“你先去吃饭去吧。”
张老开口说道。
“行，我去了。”
张老看着苏晨离去的背影。
开口说道：“这该怎么向上面提交报告？”
“直接说14纳米光刻机不做了？”
“咱们要做比西方还先进的无掩模光刻机？”
“这个你就别管了。”
“既然我答应了小苏。”
“这件事情就由我向上面做报告吧。”
“唉，你这老家伙，你没觉得你走的是一步瞎棋吗？”
“你说你都一大把年纪了，老老实实的做14纳米光刻机不就行了。”
“偏偏要做这种东西。”
“万一失败了，你这名声也算是毁了啊！”
张老叹息道。